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第1153章:帝国集团旗下研发出第一台商用光刻机!

第1153章:帝国集团旗下研发出第一台商用光刻机! (第2/2页)

70年代初期,Z国科学院开始研究计算机辅助光刻掩模工艺;
  
  1977年,我国成功研制GK-3型半自动光刻机。
  
  1980年,箐华大学在第四代分步式投影光刻机技术研究上取得成功,光刻精度达3微米,接近国际主流水平。
  
  1982年,中科院109厂研制出第一台KHA-75-1型光刻机,与世界尖端水平差距缩短到5年内。
  
  1985年,国内新型分步式光刻机试验机通过验收,经专家鉴定,其性能逼近M国光刻机巨头GCA公司4800DSW型光刻机的水平。
  
  值得一提的是,这是Z国第一台分步投影式光刻机,虽不像一些资料中描述的那般“领先世界”,但它却让国内在光刻机领域紧紧咬住了世界第一梯队的步伐,与顶端的差距最多只有七八年。
  
  至此,Z国光刻机技术发展史已然抵达顶点,但谁又能想到,它竟也成了一个辉煌时代的落幕?
  
  随着大开放的深入,Z国以积极的姿态融入世界,扑面而来的巨大机遇中也夹藏着许多“甜蜜的毒药”。
  
  上世纪七八十年代,Z国和M国度过了一段“蜜月期”,大到先进武器,小到各种民用产品,只要钱到位都不再是触不可及的奢望。
  
  西方国家也表现得相当“慷慨”,连光刻机这样的尖端产品也愿意出售。
  
  可以说,西方对国内的“慷慨”,究竟是一时的好意还是险恶的阴谋,其中的利害实在意味深长。
  
  另一方面,国内光刻机发展恰巧遭遇瓶颈,被卡在193nm光源已有小二十年。
  
  既然能够轻松获取,为什么还要费劲研发呢?彼时的Z国远不算富裕,两相对比,“买办思想”很快就占据了主流。
  
  逆水行舟不进则退,Z国与第一梯队的距离越来越大,很快便彻底脱节。
  
  其实在这个领域,相比国内与美、日、欧的差距,第一梯队内部的斗争要惨烈且残酷得多。
  
  光刻机的原理,其实并不复杂,甚至在发在初期,其复杂程度甚至不如照相机;一些对光刻机有需求的企业并不向专业厂商购买,而是买来零件自己组装,如英特尔。
  
  而最早的光刻机发展潮流,是由M国人领导的。
  
  1961年,M国GCA公司研制出第一台接触式光刻机,成为光刻机产业的巨头。
  
  1967年,在M国空军的支持下,珀金埃尔默仪器公司推出世界首台投影式光刻机Micralign100,一夜间将芯片良率提升了7倍。
  
  1978年,GCA公司又推出步进式光刻机DSW4800,分辨率可达1微米。
  
  虽然该型光刻机的单价高达45万美元,但各大企业仍趋之若鹜,根本不愁卖。至此,GCA公司进入全盛时期,在其引领下,M国光刻机产业如日中天,殊不知养虎为患,由M国人打造的“产业盛世”已经进入了倒计时。
  
  进入70年代,各大半导体厂商越来越多地选择东洋企业以配套光刻机的光学镜头,如尼康、佳能等。
  
  在这个过程中,东洋企业将本不复杂的光刻机技术摸得一清二楚,并开始了自己的尝试。
  
  随着光刻技术的不断进步,芯片制程越来越小,光刻机技术对光学系统的依赖也越来越重。在这个过程中,以光学元件见长的东洋企业逐渐崛起,飞快地从M国人手中夺走市场份额。GCA公司没落并被收购,最终,东洋人成为光刻机领域新的领头羊。
  
  历史上,1984年,正当国内对独立研发光刻机的追求逐渐被“买办思想”蚕食殆尽时,荷兰飞利浦公司在总部大楼前的空地上临时搭建了一排简易厂房,作为一家拥有31名员工的新成立的合资公司的办公场所,这个不起眼的小公司,便是后来掌握超过六成光刻机市场、地位无可撼动的荷兰阿斯麦(ASML)公司,若想要生产10nm以下芯片,只能向该公司购买尖端光刻机,除此之外没有第二个选择;这样的光刻机,一台的售价为1.2亿美元,有钱还不一定能买到。
  
  甚至,后来曾向阿斯麦公司订购一台先进光刻机,连定金都交了,谁料好巧不巧,荷兰费尔德霍芬一座工业园发生火灾,殃及阿斯麦公司的一家重要供应商,结果很多年后,国内也没收到货。
  
  2007年,阿斯麦公司占据的市场份额首次超过尼康,世界头把交椅正式易主。
  
  (本章完)
  
  
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